静電容量圧力送信機圧力送信機は、主に3つの部分で構成されています：圧力測定要素センサー、測定回路、およびプロセスコネクタ。圧力測定要素によって感じられる物理パラメーターを標準の電気信号に変換し、測定、適応症、プロセス調節のために、インジケーターアラーム、レコーダー、レギュレーターなどの二次機器を供給できます。容量性圧力センサーは、高電位と低電位の2つのプレート間の距離を変更することにより、電流または電圧を変化させるものです。
測定された培地の2つの圧力は、高圧および低圧チャンバーに渡され、敏感な要素の分離ダイアフラムの両側に作用します。これは、分離横隔膜と充填液を介して測定ダイアフラムの両側に送信され、充填液は要素。容量圧力送信機は、測定ダイアフラムの両側のコンデンサと、絶縁部の両側の電極で構成されています。圧力の両側が一貫していない場合、横隔膜変位の測定をもたらす場合、容量の両側に変位と圧力差は等しくありません。振動と復調リンクを介して、圧力に比例した信号に変換されます。容量性圧力送信機と容量性絶対圧力伝達作業原理と差動圧力送信機は同じです。違いは、低圧チャンバー圧が大気圧または真空であることです。
容量圧力送信機のA/Dコンバーターは、復調器の電流をデジタル信号に変換します。その値は、マイクロプロセッサが入力圧力の値を決定するために使用され、マイクロプロセッサは送信機の動作を制御します。さらに、センサーの線形化を実行します。測定範囲、エンジニアリングユニットの変換、減衰、オープンスクエア、センサーのトリミング、その他の操作、および診断とデジタル通信をリセットします。ピエゾレオレス圧力伝達単結晶圧力/差圧送信機は、液体、ガス、または蒸気のレベル、密度、および圧力を測定し、4〜20MA HART電流信号出力に変換し、HART 375またはBSTモデメと通信することもできます。お互いに、パラメーターの設定とそれらを介してプロセス制御を実行します。従来の電気接触圧力計との違いは、ナノメートル単結晶シリコンをセンサー材料として使用することです。
センサーモジュールは完全に溶接されており、積分オーバーロードダイアフラム、圧力センサー、温度センサーがあります。温度センサーは、温度補償の基準値として機能します。圧力センサーの陽圧側は、センサーダイアフラムボックスの高圧チャンバーに接続されており、センサーの負圧側はセンサーダイアフラムボックスの低圧チャンバーに接続されています。圧力は、分離ダイアフラムと充填液を介してセンサー内のシリコンチップに伝達され、圧力センサーのチップの抵抗値が変化し、検出システムの出力電圧の変化につながります。出力電圧は圧力変化に比例し、アダプターユニットとアンプによって標準化された信号出力に変換されます。単結晶シリコンピエゾレジヨウ体圧力センサー作動の原理単結晶シリコンピエゾレオス効果と組成を使用したピエゾ抵抗圧力センサー。統合回路プロセスを使用した単結晶シリコンダイアフラムでの弾性要素の単結晶シリコンチップの使用、等しい値抵抗のグループの単結晶シリコン拡散の特定の方向。抵抗は、センサーキャビティに配置されたブリッジ回路、単結晶シリコンウェーハに接続されています。圧力が変化すると、単結晶シリコンがひずみを生成するため、上部のひずみ抵抗の直接拡散は、測定圧力に比例した変化を生成し、次にブリッジ回路によって対応する電圧出力信号を取得します。